無油真空泵的工作原理及應(yīng)用領(lǐng)域
時間：2019-12-09 來源：http://www.cskltby.com
無油真空泵又名無油干式真空泵，屬于干式真空泵，（又簡稱干式機(jī)械泵）
從上一次的全球峰會，到近日的國家兩會，走在提出：低碳、環(huán)保。節(jié)能的環(huán)保理念。油潤滑真空泵的使用會排出一定的二氧化碳和廢氣。因此在真空行業(yè)中，葫蘆島水泵廠建議使用干式泵。
工作原理
葫蘆島水泵廠提醒：無油真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
無油真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）葫蘆島水泵廠表示，用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，可以防止油污染。
